Am Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften der bet36体育在线_bet36体育投注￥官网 ist im M?rz 2020 das Forschungsprojekt "Phasenfluidische Toolbox für das Mikroelektronik - Processing" gestartet.
In dem Projekt soll ein innovatives Baukastensystems (Toolbox) für die universelle Entfernung von Prozessrückst?nden in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden entwickelt werden. Ziel ist dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligente Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.
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